線性馬達LM系列
特長：

  • 高速化、高精度的實現
  • 機械架構簡單
  • 適用於乾淨要求的環境
  • 高性能MR-J3系列對應
  • 適用範圍：半導體實裝安置，單晶片清潔裝置，NC工具機、電子光束掃除機，液晶組立裝置(複數驅動化)
類別 檔案說明
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電子型錄
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