SVP型無油渦捲真空幫浦
◆ 無油式設計，免保養
◆ 抽速範圍廣: 72~1194 L/min (110V, 60Hz)
◆ 極限真空度可達 6 x 10-2 ~ 7.5 x 10-3 torr
◆ 能在大氣壓和真空之間頻繁啟動與關閉
◆ 低振動，低噪音，低能耗
◆ 體積小，重量輕
◆ 適用全球電源110 / 220 / 380 / 460V, 50 / 60Hz
主要用途:
◆ 分析測試儀器 / 質譜儀 / 電子式顯微鏡
◆ 真空鍍膜（PVD / CVD / LPD等）
◆ LED / LCD / 激光管抽真空與封裝
◆ 真空爐 / 單晶爐 / 烘箱
規格資訊:
| 型號 | SVP 100 | SVP 200 | SVP 300 | SVP 400 | ||
| 抽速 | 50Hz | L/s | 1 | 2 | 4.3 | 8.7 |
| L/min | 60 | 120 | 258 | 522 | ||
| m3/h | 3.6 | 7.2 | 15.5 | 31.3 | ||
| cfm | 2.2 | 4.3 | 9.3 | 18.7 | ||
| 60Hz | L/s | 1.2 | 2.4 | 5.1 | 10.4 | |
| L/min | 72 | 144 | 306 | 624 | ||
| m3/h | 4.3 | 8.6 | 18.3 | 37.4 | ||
| cfm | 2.5 | 5.1 | 10.9 | 22.3 | ||
| 極限真空度 | Pa | ≦8.0 | ≦6.0 | ≦2.6 | ≦1.0 | |
| Torr | ≦6.0 x 10-2 | ≦4.0 x 10-2 | ≦1.9 x 10-2 | ≦7.5 x 10-3 | ||
| Psi | ≦1.2 x 10-3 | ≦9.0 x 10-4 | ≦3.8 x 10-4 | ≦1.4 x 10-4 | ||
| 噪音 | dB(A) | ≦52 | ≦57 | ≦60 | ≦61 | |
| 漏率 | Pa‧m3/s | 1 x 10-8 | ||||
| 最大進/排氣壓力 | Mpa | 0.1 / 0.13 | ||||
| 工作環境溫度 | ℃ | 5~40 | ||||
| 冷卻形式 | 風冷 | |||||
| 進/排氣口法蘭 | KF 25 / KF 16 | KF 25 / KF 16 | KF 25 / KF 16 | KF 40 / KF 16 | ||
| 外形尺寸 | 單相 | mm | 405 x 225 x 260 | 425 x 250 x 280 | 495 x 290 x 340 | 530 x 316 x360 |
| 三相 | mm | - | 430 x 250 x 280 | 495 x 290 x 340 | 505 x 316 x 360 | |
| 淨重 | 單相 | Kg | 15 | 18 | 27 | 31 |
| 三相 | Kg | - | 20 | 31 | 38 | |
| 商品料號 | 商品規格 | ||
|---|---|---|---|
| RON-SVP100-11 | SVP 100 渦捲式真空幫浦，0.06 torr，72 L/min | ||
| RON-SVP200-11 | SVP 200 渦捲式真空幫浦，0.04 torr，144 L/min | ||
| RON-SVP300-11 | SVP 300 渦捲式真空幫浦，0.02 torr，306 L/min | ||
| RON-SVP400-11 | SVP 400 渦捲式真空幫浦，0.0075 torr，624 L/min |